



2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元(SMU),具有迄今為止最高的功率、 精度、速度、靈活性和易用性,能夠大大提高研發、生產測試和可靠性環境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導體器件的特征分析與測試而設計的,例如 二極管、FET和IGBT,以及其它一些需要高電壓、快速響應和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導體特征分析和測試解決方案的2600A系列產品,具 有業界最高的功率和最佳的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業界最 強大的參數式特征分析軟件平臺,能夠隨著用戶應用的發展進行升級。
2657A與其它2600A系列數字源表一樣,具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載, 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作:
? 半導體特征分析儀
? 電壓或電流波形發生器
? 電壓或電流脈沖發生器
? 支持電壓和電流讀回的精密電源
? 真電流源
? 數字萬用表(DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源)
? 精密電子負載
2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源
? 功率半導體器件特征分析與測試
? GaN、SiC和其它一些復合材料與器件 的特征分析
? 高達3kV的擊穿與漏流測試
? 亞毫秒瞬態特征分析
兩種測量模式:數字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式,可以對器件的瞬態和穩態特性進行精確的特征分析,包括快 速改變熱效應。每種模式是由其獨立的模數(A/D)轉換器決定的。
數字式測量模式能夠實現高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數字轉換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態。在積分式測量模式下,利用其雙22位積分式模數轉換器能夠實現更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉換器,一個用于電流,另一個用于 電壓,兩個轉換器同時工作可以實現精確的電源讀回,且不影響測試產能。
雙高速A/D轉換器能夠實現最快每點1μs的采樣速度,支持電壓和電流的全同時特征分析。
通過TSP-Link?技術,2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起,構成更大的具有最高 32個節點的集成式系統。內置的500ns觸發控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用完全隔離且獨立的數字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。
8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數字源表(2657A)、一個或兩個高電流數字源表 (2651A)、三個低功率數字源表(其它2600A系列或4200-SCS SMU)。利用這一功能,就可以 安全而準確地對雙端(二極管)、三端(晶體管)甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能最多可支持六臺數字源表。8010集成了保護電路,能夠保護低壓數字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內含高電流(100A)和高電壓(3000V)測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口,包括TO-247、TO-220、軸心線,以及可以構建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線,8010還具有背板指示器和熱探針端口,可簡化系統集成。
2每臺2657A都具有其它2600A系列數字源 表所具有的特性和功能:
? 使用靈活,可用作臺式I-V特征 分析工具,也可以作為多通道I-V 測試系統的組成模塊;
? TSP Express軟件,無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執 行常用的I-V測試。
? 用于半導體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件(可選)。ACS Basic Edition現在提供了“Trace” 模式,可產生一套特征曲線。
? 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術支持創建并運行自定義 的用戶測試腳本,用于實現高速自 動化測試,以及創建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
? 當系統中多臺2600A系列儀器 連接在一起時,具有并行測試 執行和精確定時功能。 ? 兼容LXI Class C。
? 14位數字I/O線,用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
? USB端口,用于通過USB存儲器保存額 外的數據和測試程序。
8010型高功率器件測試夾具。
2657A背板
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