集成電路制造需要在超清潔的環(huán)境之中進(jìn)行。這是一個(gè)使用超純材料進(jìn)行超精細(xì)加工的行業(yè)。集成電路制造對(duì)潔凈室環(huán)境的控制有著嚴(yán)格的要求，不同的工藝對(duì)潔凈度有著不同的要求。例如，我們也知道光刻需要1級(jí)微環(huán)境，而化學(xué)機(jī)械拋光需要1000級(jí)微環(huán)境。

        半導(dǎo)體集成電路在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)接觸到很多污染物，如無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、微生物、氣體雜質(zhì)等。另外，從廣義之上講，溫度、濕度、光照不當(dāng)、靜電過(guò)大、電磁噪聲、空氣噪聲、微振動(dòng)等也是特殊污染物。

        塵埃粒子計(jì)數(shù)器用于半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)的潔凈室

        其中，當(dāng)顆粒雜質(zhì)、無(wú)機(jī)離子、有機(jī)物、微生物和氣體雜質(zhì)的含量超過(guò)一定限度時(shí)，集成電路產(chǎn)品會(huì)出現(xiàn)表面劃傷、圖案斷裂、短路、針頭孔、剝落等現(xiàn)象。它會(huì)導(dǎo)致電路泄漏和電氣特性異常，影響電路性能和使用壽命，或?qū)е码娐穲?bào)廢。

        一般來(lái)說(shuō)，由污染引起的電路產(chǎn)品故障率可能高達(dá)60%。總之，IC芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，缺陷密度與空氣之中粒子的數(shù)量有關(guān)。因此，隨著集成電路的快速發(fā)展，不僅要控制空氣之中粒子的大小，還要控制空氣之中粒子的數(shù)量。同時(shí)，對(duì)超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境無(wú)塵車間項(xiàng)目的化學(xué)污染控制也有相關(guān)要求。

        半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)潔凈室采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器

        針對(duì)這種情況，使用遠(yuǎn)程空氣塵埃粒子計(jì)數(shù)器對(duì)半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)車間環(huán)境進(jìn)行監(jiān)測(cè)，確保產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境達(dá)到清潔標(biāo)準(zhǔn)，工礦網(wǎng)技術(shù)工程師建議使用美國(guó)particles plus公司的遠(yuǎn)程空氣塵埃粒子計(jì)數(shù)器-5301，配置簡(jiǎn)單，可從一臺(tái)儀器轉(zhuǎn)移到另一臺(tái)儀器，易于清潔和擦拭，具有最小的粒子捕集器，多功能安裝選擇，與設(shè)備監(jiān)控系統(tǒng)無(wú)縫集成。