精度是根本，高精度SMU的輸出和測量精度指標通常是有很多限制條件的，比如溫度范圍、保證時限等。保證精度的溫度范圍越寬，保證時限越長，實際測試過程中的精度才越有保障。

橫河GS200系列SMU的最高精度可達讀數的0.001%；  

在23±5℃的溫度范圍時，一年的保證精度也可以達到讀數的±0.016%；

在23±5℃溫度范圍以外時，溫度系數高達±0.0008%/℃。

穩定性是指SMU在進行長時間連續測量時，精度的變化情況。影響穩定性的因素有很多，如源表元器件的質量、零部件的磨損老化、以及使用或貯存不當等。另外，SMU的實際應用場景通常會連續測量較長時間，比如在生產線上使用時，需要連續測量24小時以上。長時間的輸出和測量，會在SMU的機箱內產生并積累熱量，如果散熱處理不當也會對輸出和測量的精度帶來較大的影響。

GS200輸出穩定性與其他公司產品對比

當SMU的輸出通過掃描或編程頻繁進行切換時，輸出的響應速度就變得尤為重要。

掃描輸出例

快速的響應才能保證輸出對時間的準確性，迅速而準確地達到輸出值，而良好的震蕩抑制能夠確保電壓、電流輸出的穩定，避免對被測對象產生不必要的沖擊。
 

半導體激光器芯片檢測，需要SMU輸出電流驅動發光二極管，并測量光電傳感器的輸出電壓，同時使用光譜分析儀對發光二極管的發光波長和光譜特性進行檢測。

由于光電傳感器產生的電壓很小，需要源表具有很高的分解能力和測量精度。

同時為了避免發光二極管過熱，提高檢測速度，驅動電流需要以窄脈沖掃描的形式進行輸出，這就對SMU的響應和測量速度提出了很高要求。這樣的檢測工作在生產線上可能需要連續24小時進行，SMU的穩定性也至關重要。

脈沖掃描曲線

半導體激光器芯片檢測示例

• 基本精度：最高可達±0.016%

• 溫度系數：最高可達±0.0008%/℃

• 100µs周期輸出100,000點任意波形

• 內置USB大容量存儲設備

• 高速的命令響應能力